OUR ADVANTAGE
标准化工业生产厂房，产品质量有保障，厂家到客户的距离减少中间差价，价格优势明显。
专业从事设计、研发、制造与销售电子束镀膜机，可提供多种产品满足客户的多种需求。
设备自动化程度高， 的生产工业，完备的检测设备，出厂前完成试机，可以直接投入使用。
公司维护中心有24小时电话服务，由专职工程师受理，保证用户能够得到技术支持。
HOT PRODUCTS
自主研发制造的电子束镀膜机，多项软“著作权及专利，可用于2“-12“ 硅加工。设备已应用于多家客户，对应市场需求以50%增速快速增长。 自主研发制造的电子束镀膜机，多项软“著作权及专利，可用于2“-12“ 硅加工。设备已应用于多家客户，对应市场需求以50%增速快速增长。
VATECH80型自动高精度薄膜镀膜机是一种通用型的 镀膜设备， 适用于各种基板表面蒸镀金属(Ti,Ni,Ag,Au,Al 等)以及Sic上的化合物及氧化物等介质膜。
VATECH100 型全自动高精度薄膜镀膜机是一种高端领域使用的长蒸距镀膜设备，应用领域包括氮化物、氧化物、碳化硅、砷化镓、传感器等等，可实现RF离子辅助镀膜。
适用于4”-8”晶圆(单晶硅或Sic衬底） 150mm: · 65wfr/hr:2000A usg+8000A BPSG · 120wfr/hr:5300A Sio2
适用于6”或8”晶圆(单晶硅或Sic衬底） 150mm: · 50wfr/hr:2000A usg+8000A BPSG · 73wfr/hr:5300A Sio2
QUALIFICATION CERTIFICATE
无锡芯谱半导体科技有限公司成立于2013年3月，科技创新交叉融合产生科技成果，新质生产力其技术水平更高、质量更好、效率更高、更可持续，公司自主研发的高真空电子束镀膜机VATECH50/80/100系列机型，应用于集成电路/功率器件/碳化硅/砷化镓/化合物/传感器等等镀膜领域，已获得多项著作权和发明专利，产品用于2-12寸晶圆制造行业，设备已被市场广泛应用，公司在APCVD WJ999/WJ999R/WJ1000系列设备有20多年维修、翻新、安装经验，为客户解决各类设备及工艺问题。目前服务95%的应用客户，公司于2024年立项自主研发全新替代的国产设备APCVD即将推向市场。
APPLICATION FIELD
NEWS CENTER
1、电子学领域 在电子学领域中应用，真空镀膜技术的存在保障了集成电路的高度集成、性能、可靠性、生产效率等。 影响颇大，据估计，将近50%的大型集成电路工艺..
电子束蒸发镀膜机是在工业中比较常使用的薄膜制造设备，由于蒸发镀膜机的特点在生产薄膜的时候发挥了巨大的作用，薄膜的产生主要是通过镀膜机中的电子束的加热产生的。..
1、首先电子束蒸发与热蒸发 的区别在于：电子束蒸发是用一束电子轰击物体，产生高能量进行蒸发， 热蒸发通过加热完成这一过程，与热蒸发相比，电子束蒸发提供..
